| CVD法SiC纤维表面碳涂层结构的拉曼光谱研究 |
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| 引用本文： | 刘帅,杨延清,罗贤,张荣军,赵光明,金娜,肖志远.CVD法SiC纤维表面碳涂层结构的拉曼光谱研究[J].光谱学与光谱分析,2012,32(12):3253-3257. |
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| 作者姓名： | 刘帅 杨延清 罗贤 张荣军 赵光明 金娜 肖志远 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,凝固技术国家重点实验室,陕西 西安 710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，凝固技术国家重点实验室自主研究课题项目 |
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| 摘 要： | 采用激光拉曼光谱仪和扫描电子显微镜对以C2H2+H2和C2H2+C3H8+Ar为反应气体,通过直流加热化学气相沉积工艺在SiC纤维表面制备的碳涂层的微观结构及断口形貌进行了研究。结果表明,两种碳涂层的拉曼光谱中1 350,1 400～1 500和1 600cm-1附近均观察到D,D"和G特征峰的存在。碳涂层具有类似石墨的片层结构,结构中微晶的排列显示出一定的无序性,并含有少量非晶态碳。随着沉积温度的升高,微晶尺寸有所增加,结构中的均匀性和有序度也得到改善。断口观察发现,采用C2H2+H2制备的碳涂层平整、致密;而由C2H2+C3H8+Ar得到的碳涂层呈曲折的层片状。分析表明,这主要与结构中的有序度和均匀性有关。
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| 关 键 词： | 化学气相沉积 碳涂层 拉曼光谱 微观结构 |
Investigation of Microstructure of CVD Carbon Coating on SiC Fiber by Raman Spectrometer |
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| LIU Shuai
,
YANG Yan-qing
,
LUO Xian
,
ZHANG Rong-jun
,
ZHAO Guang-ming
,
JIN Na
,
XIAO Zhi-yuan.Investigation of Microstructure of CVD Carbon Coating on SiC Fiber by Raman Spectrometer[J].Spectroscopy and Spectral Analysis,2012,32(12):3253-3257. |
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| Authors: | LIU Shuai YANG Yan-qing LUO Xian ZHANG Rong-jun ZHAO Guang-ming JIN Na XIAO Zhi-yuan |
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| Institution: | State Key Laboratory of Solidification Processing,Northwestern Polytechnical University,Xi’an 710072,China |
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| Abstract: | |
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