| 脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜热效应研究 |
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| 引用本文： | 周维军,袁永华,桂元珍,刘海淘.脉冲激光辐照TiO2/SiO2薄膜热效应研究[J].强激光与粒子束,2007,19(1):23-26. |
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| 作者姓名： | 周维军 袁永华 桂元珍 刘海淘 |
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| 作者单位： | 中国工程物理研究院 流体物理研究所, 四川 绵阳 621900 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 采用1.06 μm单脉冲激光在不同能量密度下辐照特殊光电系统中典型薄膜光学元件，理论分析了激光辐照薄膜元件产生的温度场和热应力场，在此基础上建立了激光辐照多层薄膜的物理模型，计算软件使用ANSYS软件的热分析模块对激光辐照薄膜元件产生的温度场和热应力场进行了模拟，分别给出不同激光能量密度下薄膜表面光斑中心的温度场、径向温度场和轴向温度场分布；同时给出不同能量密度下薄膜的轴向、径向和环向热应力分布。并对激光辐照薄膜元件产生的温度场、热应力场进行了分析，阐明了原因。
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| 关 键 词： | 激光辐照 薄膜 温度场 热应力 |
| 文章编号： | 1001-4322(2007)01-0023-04 |
| 收稿时间： | 2006/5/25 |
| 修稿时间： | 2006-05-25 |
Thermal effect of TiO2/SiO2 film irradiated by pulse laser |
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| ZHOU Wei-jun,YUAN Yong-hua,GUI Yuan-zhen,LIU Hai-tao.Thermal effect of TiO2/SiO2 film irradiated by pulse laser[J].High Power Laser and Particle Beams,2007,19(1):23-26. |
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| Authors: | ZHOU Wei-jun YUAN Yong-hua GUI Yuan-zhen LIU Hai-tao |
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| Institution: | Institute of Fluid Physics, CAEP, P.O.Box 919-109, Mianyang 621900, China |
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| Abstract: | Using 1.06 μm single pulse laser to irradiate optical element model of photoelectricity system in different energy density, physical model of multilayer films is found and temperature field of facula center, radial direction and axes direction is calculated with ANSYS software. At the same time thermal stresses in radial direction, axes direction and round direction in different energy density are calculated. Change of temperature field and thermal stress are analysed. |
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| Keywords: | Laser irradiating Film Temperature field Thermal stress |
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