| 基于傅里叶模方法的KDP晶体镀膜减反技术 |
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| 引用本文： | 陈明君,李明全,姜文斌,姜伟.基于傅里叶模方法的KDP晶体镀膜减反技术[J].强激光与粒子束,2011,23(2). |
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| 作者姓名： | 陈明君 李明全 姜文斌 姜伟 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 精密工程研究所, 哈尔滨 150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，国家高技术发展计划项目 |
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| 摘 要： | 采用傅里叶模方法，分析了单点金刚石铣削后KDP晶体表面小尺度波纹的周期和幅值对单层增透膜折射率、厚度以及透射率的影响。研究表明：膜层最佳折射率在1.22左右，在此折射率条件下，保证透射率大于99%的单层增透膜的理想厚度范围应为180~220 nm，并且折射率和膜厚值的选取基本不受晶体表面小尺度波纹周期和幅值的影响。若只考虑SPDT法加工后KDP晶体表面小尺度波纹周期和幅值的实际范围，透射率基本不受波纹周期的影响，但却会随波纹幅值的增大而加速下降。理想镀膜条件下透射率最大值大于99%，并且通常在99.67%~99.94%之间。
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| 关 键 词： | KDP晶体 小尺度波纹 傅里叶模方法 单层增透膜 折射率 |
| 收稿时间： | 1900-01-01; |
Technology of anti-reflection coating of KDP crystal by using Fourier modal method |
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| Chen Mingjun,Li Mingquan,Jiang Wenbin,Jiang Wei.Technology of anti-reflection coating of KDP crystal by using Fourier modal method[J].High Power Laser and Particle Beams,2011,23(2). |
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| Authors: | Chen Mingjun Li Mingquan Jiang Wenbin Jiang Wei |
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| Institution: | Center for Precision Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China |
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| Abstract: | The effects of the period and amplitude of micro-waveness on KDP surface processed by single point diamond turning(SPDT) on the refractive index,thickness,and transmittance of single-layer anti-reflection(AR) coating were analyzed by the Fourier modal method.It is found that the optimal refractive index of the AR film is about 1.22,and the thickness should be 180 to 220 nm in order to ensure the transmittance of more than 99% in the optimal refractive index condition.The period and amplitude of micro-wavene... |
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| Keywords: | KDP crystal micro-waveness Fourier modal method single-layer anti-reflective coating refractive index |
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