| 高精度2×2阵列拼接光栅结构设计北大核心CSCD |
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| 引用本文： | 周忆,申超,张军伟,王逍,周海.高精度2×2阵列拼接光栅结构设计北大核心CSCD[J].强激光与粒子束,2011(7):1741-1745. |
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| 作者姓名： | 周忆 申超 张军伟 王逍 周海 |
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| 作者单位： | 1.重庆大学机械传动国家重点实验室400030;2.重庆大学机械工程学院400030;3.中国工程物理研究院激光聚变研究中心610019; |
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| 基金项目： | 国家高技术发展计划项目；中央高校基本科研项目(CDJXS11111140)；重庆大学"211工程"三期创新人才培养计划建设项目(S-09106) |
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| 摘 要： | 提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性;设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光栅微纳量级的调整要求;讨论了关键组件的设计和制造问题。设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17μm,微纳调整组件的最小调整精度可以达到1.8 nm,分辨力为0.9 nm,初步光路实验表明,设计的拼接调整机构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度,且稳定时间大于1 h。
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| 关 键 词： | 阵列拼接光栅 微纳调整 结构设计 快点火 |
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