| 自组装静电驱动微机电系统倾斜镜（英文） |
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| 引用本文： | 王强,汪为民,邱传凯,于军胜.自组装静电驱动微机电系统倾斜镜（英文）[J].强激光与粒子束,2015(2):146-150. |
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| 作者姓名： | 王强 汪为民 邱传凯 于军胜 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室;电子科技大学光电信息学院 |
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| 基金项目： | supported by National Natural Science Foundation of China(60978051);National Natural Science Associate Foundation of China(11176033) |
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| 摘 要： | 研制了一种基于自组装技术的静电驱动微机电系统(MEMS)倾斜镜,并利用表面硅工艺PolyMUMPs制备了样品。倾斜镜主要由一个中心镜面,两个偏转梁和两个可实现自组装的复合悬臂梁组成。中心镜面离衬底的高度可通过增大金和多晶硅复合悬臂梁的残余应力梯度得到提升。热退火技术被用于提高金层的残余应力。器件结构利用有限元仿真软件进行了优化并通过实验进行了验证。经过200℃热退火后,倾斜镜的偏转角度可以达到3.6°。该倾斜镜可运用于微光机电系统。
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| 关 键 词： | 倾斜镜 微机电系统 静电驱动 自组装 |
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