Keating改良模型的硅纳米梁动态特性(英文) |
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引用本文: | 张致彬,于虹,张鹏,陈宏博.Keating改良模型的硅纳米梁动态特性(英文)[J].强激光与粒子束,2015(2):263-266. |
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作者姓名: | 张致彬 于虹 张鹏 陈宏博 |
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作者单位: | 东南大学MEMS教育部重点实验室 |
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基金项目: | supported by Natural Science Foundation of Jiangsu(SBK201320668) |
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摘 要: | 提出一种用于分析硅纳米梁动态特性的改良型半连续体模型,对比传统的连续体理论,这种新模型使用了Keating势,并考虑了纳米梁在宽厚两个维度的分立特性。依据Sun-Zhang模型思想和能量守恒定律,建立了改良型Keating模型,并进行了双端固支梁的基频计算。在这个过程中,对一些表面效应也进行系统分析。结果表明,该改良模型一方面在纳米尺度下与Material StudioTM软件仿真结果较为符合,另一方面也能在微观尺度下较好的接近连续体模型的计算数据。同时,该模型还反映了基频随纳米梁宽度变化的特性,这也符合一些实际实验。
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关 键 词: | 半连续体理论 Keating势 表面弛豫 基频 |
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