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St?ber法制备二氧化硅薄膜反应动力学
引用本文:商孟莹,蒋晓东,刘淼,罗炫,唐永建,曹林洪.St?ber法制备二氧化硅薄膜反应动力学[J].强激光与粒子束,2013,25(4):898-902.
作者姓名:商孟莹  蒋晓东  刘淼  罗炫  唐永建  曹林洪
作者单位:1.西南科技大学 四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地, 四川 绵阳 621 01 0;
摘    要:通过研究正硅酸乙酯(TEOS)水解的反应动力学,推导出Stber法制备二氧化硅溶胶体系中反应时间与TEOS转化率关系的动力学公式。分析确定了合适的转化率,进而用于计算二氧化硅溶胶的理论最佳反应时间。同时,以正硅酸乙酯为硅源,采用溶胶凝胶法在氨水催化作用下制备了不同配比的二氧化硅溶胶,考察了氨和水的浓度对反应时间的影响,结果表明,两者浓度增大可以有效减少反应时间。通过成膜性检测确定制备过程中的最佳反应时间,并与理论计算得到的最佳反应时间进行比较,结果表明,两者一致,误差控制在5%以内,说明该动力学公式具有很好的适用性。 2012-06-01;修订日期:

关 键 词:溶胶-凝胶    反应动力学    单分散二氧化硅    转化率    反应时间
收稿时间:2012-06-01
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