差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性(英文) |
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引用本文: | 邢永豪,谢波,陈健,陈德勇,王军波.差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性(英文)[J].强激光与粒子束,2016(6):164-169. |
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作者姓名: | 邢永豪 谢波 陈健 陈德勇 王军波 |
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作者单位: | 中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室;中国科学院大学 |
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摘 要: | 谐振式压力微传感器因其高精度、高稳定性及准数字输出等特性而广泛应用于气压监测、航空航天等领域。相较于其他结构,差分谐振式具有灵敏度高、线性度好及温度漂移小等优势。然而,要获得差分谐振式压力微传感器的最优性能,仍需解决差分谐振梁灵敏度不匹配的问题。在仿真与实验的基础上,对差分谐振式压力微传感器的灵敏度匹配特性进行了相关研究。根据研究结果,对传感器的结构参数进行了优化设计。两谐振梁的设计灵敏度为±46 Hz/kP,实验结果显示中心梁的实际灵敏度为45Hz/kPa,边梁的实际灵敏度为-44Hz/kPa,差分输出的线性度高达0.9999999。
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关 键 词: | 微机电系统 谐振式压力传感器 差分频率 灵敏度匹配 双谐振器 有限元分析 |
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