冲击环境下MEMS器件的弹性限位块设计(英文) |
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引用本文: | 姜涛,孙林,刘广军.冲击环境下MEMS器件的弹性限位块设计(英文)[J].强激光与粒子束,2016(6):170-175. |
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作者姓名: | 姜涛 孙林 刘广军 |
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作者单位: | 同济大学机械与能源工程学院 |
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摘 要: | 采用限位块可以提高MEMS器件的抗冲击性能,但由于冲击环境中MEMS结构与限位块的碰撞过程可能产生较大的瞬间冲击以致器件失效,用弹性限位块可以有效解决上述问题,但是其防护效果会受到限位参数的影响。为了得到限位块最佳设计参数,首先建立了MEMS器件的冲击动力学模型,提取了影响MEMS器件冲击响应的因素,进而分析了限位块弹性系数、限位距对冲击响应的影响;最后提出了限位块的设计方法并给出了最终设计结果。结果表明:设计弹性限位块需要兼顾限位效果和缓冲性能,同时减小限位距也可显著提高微器件抗冲击性能。
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关 键 词: | MEMS器件 冲击环境 弹性限位块 弹性系数 限位距 |
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