220GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺(英文) |
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引用本文: | 马天军,孙建海,郝保良,李飞,伊福廷,刘濮鲲.220GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺(英文)[J].强激光与粒子束,2015(2):9-13. |
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作者姓名: | 马天军 孙建海 郝保良 李飞 伊福廷 刘濮鲲 |
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作者单位: | 中国科学院电子学研究所;中国科学院高能物理研究所;北京大学应用电子学研究所 |
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基金项目: | supported by National Defense Pre-Research Foundation of China(9140A230202) |
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摘 要: | 真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越严格。传统的加工方法很难实现如此微小尺寸的结构,UVLIGA技术对于制造这种微型结构是一种很有前途的方法。用UV-LIGA方法制备真空器件的慢波结构,涉及到两个主要的问题:一是SU8厚胶匀胶过程中如何确保其厚度及其一致性;二是横向贯穿折叠波导中心的电子注通道如何成型。以220GHz折叠波导为研究对象,针对上述两个问题开展了相关的工艺试验,使用特制的PDMS模具,采用重力匀胶法,实现了大厚度SU8胶匀胶,表面平整,高度一致。在SU8光刻胶中通过专用夹具,嵌入透明有机丝,形成细长电子注通道。而后,采用脉冲电铸电源,在硫酸铜电铸液中电铸,获得了表面平整的无氧铜微结构。
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关 键 词: | 微加工 折叠波导 UV-LIGA 行波管 |
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