| Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能 |
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| 引用本文： | 张洪亮,吴卫东,何智兵,刘兴华,李俊,曹林洪,巨新,唐永建,谢二庆.Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能[J].强激光与粒子束,2008,20(4):621-624. |
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| 作者姓名： | 张洪亮 吴卫东 何智兵 刘兴华 李俊 曹林洪 巨新 唐永建 谢二庆 |
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| 作者单位： | 1. 兰州大学 物理学院， 兰州 730000；2. 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心， 四川 绵阳 621900;3. 南京大学 物理学院， 南京 210093 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 以H2、反式-2-丁烯（T2B）和二茂铁混合气体为工作气体，用金属有机等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）制备了Fe掺杂氢化非晶碳（a-C:H:Fe）薄膜。使用X射线光电子能谱（XPS）对a-C:H:Fe薄膜成分进行了分析。使用台阶仪、场发射扫描电镜（FESEM）、热重分析和紫外可见分光光度计（UV-VIS），对比分析了a-C:H薄膜和a-C:H:Fe薄膜的沉积速率、表面形貌、热稳定性和光学带隙变化。研究表明：相同制备条件下，相比a-C:H薄膜，a-C:H:Fe薄膜的沉积速率高，表面颗粒小，容易碳化，光学带隙变窄。
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| 关 键 词： | ICF靶 氢化非晶碳薄膜 等离子体增强化学气相沉积 Fe掺杂 热重分析 |
| 文章编号： | 1001-4322(2008)04-0621-04 |
| 收稿时间： | 2008/1/9 |
| 修稿时间： | 2008年1月9日 |
Preparation and thermal stability of Fe-doped hydrogenated amorphous carbon films |
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| ZHANG Hong-liang,WU Wei-dong,HE Zhi-bing,LIU Xing-hua,LI Jun,CAO Lin-hong,JU Xin,TANG Yong-jian,XIE Er-qing.Preparation and thermal stability of Fe-doped hydrogenated amorphous carbon films[J].High Power Laser and Particle Beams,2008,20(4):621-624. |
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| Authors: | ZHANG Hong-liang WU Wei-dong HE Zhi-bing LIU Xing-hua LI Jun CAO Lin-hong JU Xin TANG Yong-jian XIE Er-qing |
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| Institution: | 1. Physical Science and Technology School, Lanzhou University, Lanzhou 730000, China;2. Research Center of Laser Fusion, CAEP, P.O.Box 919-987, Mianyang 621900, China;3. Physical Science and Technology School, Nanjing University, Nanjing 210093, China |
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| Abstract: | 作者简介：联系作者:吴卫东,男,研究员,主要从事薄膜物理研究;wuweidongdingliu@yahoo.cn. |
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| Keywords: | Hydrogenated amorphous carbon films PECVD Fe-doped Thermal gravity analysis |
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