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Mn-Cu合金成分对去合金化法制备纳米多孔铜的影响
引用本文:尹硕,谭秀兰,李恺,罗江山,蒋晓东,唐永建,胡文成.Mn-Cu合金成分对去合金化法制备纳米多孔铜的影响[J].强激光与粒子束,2011,23(5).
作者姓名:尹硕  谭秀兰  李恺  罗江山  蒋晓东  唐永建  胡文成
作者单位:1. 电子科技大学 微电子与固体电子学院, 成都 610054;2. 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 621900
基金项目:等离子体物理国防科技重点实验室基金项目(9140C6805021008)
摘    要: 采用电弧熔炼制备出前驱体Mn-Cu合金,在稀盐酸溶液中自由腐蚀去合金化,制备出具有双连续结构的纳米多孔铜。研究了前驱体合金的成分对纳米多孔铜微观结构及Mn的选择性腐蚀程度的影响。结果表明:前驱体Mn-Cu合金的Cu原子分数为43%时,其去合金化受到抑制,存在明显的未完全去合金化的岛状结构;前驱体Mn-Cu合金的Cu原子分数为32%~23%时,可完全去合金化,形成平均孔径尺寸为20~100 nm,平均系带尺寸为30~80 nm,具有双连续结构的纳米多孔铜;前驱体Mn-Cu合金的Cu原子分数低至20%时,去合金化后存在大量裂纹,形成纳米颗粒聚集体。纳米多孔铜中存在少量的残余Mn,残余Mn的原子分数随着前驱体合金Mn原子分数的增高而降低。实验表明腐蚀液浓度对纳米多孔铜形貌也存在影响。

关 键 词:电弧熔炼  去合金化  合金成分  纳米多孔铜  微观形貌
收稿时间:1900-01-01;

Influence of composition on dealloying of Mn-Cu alloys
Yin Shuo,Tan Xiulan,Li Kai,Luo Jiangshan,Jiang Xiaodong,Tang Yongjian,Hu Wencheng.Influence of composition on dealloying of Mn-Cu alloys[J].High Power Laser and Particle Beams,2011,23(5).
Authors:Yin Shuo  Tan Xiulan  Li Kai  Luo Jiangshan  Jiang Xiaodong  Tang Yongjian  Hu Wencheng
Institution:(1.School of Microelectronics and Solid-State Electronics, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China;2. Research Center of Laser Fusion, CAEP, P.O. Box 919-987, Mianyang 621900, China)
Abstract:Nanoporous copper with bicontinuous ligament structures can be synthesized by free corrosion dealloying in dilute HCl solution with arc melted Mn-Cu alloys.The effect of initial alloy composition on micromorphology of nanoporous Cu and residual Mn atom fraction is investigated.The results indicate that,for alloys with Cu of more than 43% atom fraction,the dissolution of Mn is limited,leaving islands of retained Mn-Cu alloys.Bicontinuous ligament structures can be obtained as the initial Cu atom fraction dec...
Keywords:arc melting  dealloying  alloy composition  nanoporous copper  micromorphology  
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