| 掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备及测量 |
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| 引用本文： | 周斌,王珏.掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备及测量[J].强激光与粒子束,1998,10(2):263-267. |
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| 作者姓名： | 周斌 王珏 |
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| 作者单位： | 同济大学波耳固体物理研究所, 上海, 200092同济大学化学系, 上海, 200092 |
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| 基金项目： | 国家863惯性约束改变领域资助 |
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| 摘 要： | 平面调制靶是ICF分解实验中的重要用靶。介绍了在过去工作的基础上掺溴聚苯乙烯平面调制箔靶的制备工艺,研究旋转涂覆和流延工艺对靶的表面起伏图形转移的影响,采用SEM观察薄膜表面起伏图形的形貌,对掺杂溴的含量进行测量和控制,以台阶仪测量靶的表面粗糙度。
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| 关 键 词： | 平面调制靶 掺溴聚苯乙烯 ICF制靶技术 |
| 收稿时间： | 1900-01-01; |
PREPARATION AND PARAMETERS MEASUREMENT ON SURFACE PERTURBATION TARGET OF BROMINATED POLYSTYRENE |
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| Abstract: | Ｔｈｅ ｓｕｒｆａｃｅ ｐｅｒｔｕｒｂａｔｉｏｎ ｔａｒｇｅｔ ｉｓａｎ ｉｍｐｏｒｔａｎｔ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ ｔａｒｇｅｔ ｆｏｒ ｔｈｅｒｅｓｏｌｖｅｄ ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓ ｏｆ ｉｎｔｅｒｉａｌ ｃｏｍｆｉｎｅｍｅｎｔｆｕｓｉｏｎ （ＩＣＦ）．Ｉｎ ｔｈｉｓ ｐａｐｅｒ， ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎ ｐｒｏｃｅｓｓ ｏｆ ｓｕｒｆａｃｅ ｐｅｒｔｕｒｂａｔｉｏｎ ｔａｒｇｅｔｏｎ ｂｒｏｍｉｎａｔｅｄｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ ｆｉｌｍ ｗａｓ ｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄ．Ｆｉｇｕｒｅ ｔｒａｎｓｆｅｒ ｐｒｏｃｅｓｓ ｗａｓ ｓｔｕｄｉｅｄ． Ｔｈｅｓｉｎｅ ｐｅｒｔｕｒｂａｔｉｏｎ ｆｉｇｕｒｅｓ ｗｉｔｈ ｔｈｅ ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈｆｒｏｍ ２０ ｔｏ １００μｍ， ａｍｐｌｉｔｕｄｅ ｆｒｏｍ ０．２ ｔｏ ３．５μｍｏｎ ｂｒｏｍｉｎａｔｅｄ ｐｏｌｙｓｔｙｒｅｎｅ ｆｉｌｍ |
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| Keywords: | surface perturbation target bromine doping polystyrene ICF target fabrication |
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