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| SiO_2半波覆盖层对HfO_2/SiO_2高反射膜激光损伤的影响 | |
| 引用本文： | 胡建平,邱服民,付雄鹰,曾勋.SiO_2半波覆盖层对HfO_2/SiO_2高反射膜激光损伤的影响[J].强激光与粒子束,2001(2). |
| 作者姓名： | 胡建平 邱服民 付雄鹰 曾勋 |
| 作者单位： | 成都精密光学工程研究中心!四川成都610041 |
| 基金项目： | 国家 8 6 3惯性约束聚变领域基金!(86 3-4 16 -2 -4 .15 )，中国工程物理研究院院科研基金!(990 2 2 5 ) |
| 摘 要： | 研究了 Si O2 半波覆盖层对 Hf O2 /Si O2 高反射膜 1 0 64nm激光损伤的影响 ,分析薄膜的激光损伤特性及图貌得出 ,对于单脉冲 ( 1 -ON-1 )激光损伤 ,Si O2 半波覆盖层能提高 Hf O2 /Si O2 高反射膜的激光损伤阈值 ;可显著降低激光损伤程度 ,减小灾难性损伤发生的概率 ;可大幅度提高 Hf O2 /Si O2 高反射膜的抗激光损伤能力 |
| 关 键 词： | SiO2半波覆盖层 激光损伤阈值 损伤图貌 高反射膜 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |