| 蓝宝石基片的处理方法对ZnO薄膜生长行为的影响 |
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| 引用本文： | 刘 明,刘志文,谷建峰,秦福文,马春雨,张庆瑜.蓝宝石基片的处理方法对ZnO薄膜生长行为的影响[J].中国物理 B,2008,17(2):1133-1140. |
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| 作者姓名： | 刘 明 刘志文 谷建峰 秦福文 马春雨 张庆瑜 |
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| 作者单位： | 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(批准号：10605009)资助的课题. |
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| 摘 要： | 采用反应射频磁控溅射方法，在经过不同方法处理的蓝宝石基片上，在同一条件下沉积了ZnO薄膜.利用原子力显微镜、X射线衍射、反射式高能电子衍射等分析技术，对基片和薄膜的结构、表面形貌进行了系统表征.研究结果显示，不同退火条件下的蓝宝石基片表面结构之间没有本质的差异，均为α-Al2O3 (001)晶面，但基片表面形貌的变化较大.在不同方法处理的蓝宝石基片上生长的ZnO薄膜均具有高c轴取向的织构特征，但薄膜的表面形貌差异较大.基片经真空退火处
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| 关 键 词： | ZnO薄膜， 反应磁控溅射， 基片处理， 形貌分析 |
Effect of sapphire substrate pre-treatment on the growth of ZnO films |
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| Liu Ming,Liu Zhi-Wen,Gu Jian-Feng,Qin Fu-Wen,Ma Chun-Yu and Zhang Qing-Yu.Effect of sapphire substrate pre-treatment on the growth of ZnO films[J].Chinese Physics B,2008,17(2):1133-1140. |
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| Authors: | Liu Ming Liu Zhi-Wen Gu Jian-Feng Qin Fu-Wen Ma Chun-Yu and Zhang Qing-Yu |
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| Keywords: | ZnO film reactive radio-frequency magnetron sputtering substrate pretreatments morphological analysis |
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