首页
|
本学科首页
官方微博
|
高级检索
全部专业
化学
晶体学
力学
数学
物理学
学报及综合类
按
中文标题
英文标题
中文关键词
英文关键词
中文摘要
英文摘要
作者中文名
作者英文名
单位中文名
单位英文名
基金中文名
基金英文名
杂志中文名
杂志英文名
栏目英文名
栏目英文名
DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
检索
Influence of roughness on the detection of mechanical characteristics of low-k film by the surface acoustic waves
Authors:
Xiao Xia;Tao Ye;Sun Yuan
Abstract:
low-k film, mechanical character detection, rough surface, rough interface, surface acoustic wave
Keywords:
low-k film
mechanical character detection
rough surface
rough interface
surface acoustic wave
本文献已被
CNKI
维普
等数据库收录!
设为首页
|
免责声明
|
关于勤云
|
加入收藏
Copyright
©
北京勤云科技发展有限公司
京ICP备09084417号