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| 溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究 | |
| 引用本文： | 姜永睿,胡雄伟,杨沁清,王红杰,杨澜,郑金红,谢二庆.溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究[J].光子学报,2004,33(9):1140-1143. |
| 作者姓名： | 姜永睿 胡雄伟 杨沁清 王红杰 杨澜 郑金红 谢二庆 |
| 作者单位： | 中科院半导体研究所光电子研究发展中心,北京,100083;北京化学试剂研究所,北京,100022;兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 (批准号 :6 988970 1)，国家重点基础研究发展规划 (No.G2 0 0 0 0 36 6 0 2 )资助项目 |
| 摘 要： | 采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶－凝胶,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料;用该凝胶在硅片上提拉成膜.为了增加薄膜与硅片的粘附性,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为1500的二氧化硅;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整,在5×5 μm2的范围内最大表面起伏只有0.657 nm.利用波导阵列掩膜版, 对制备的薄膜在紫外光波段下曝光,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列.研究发现:紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大.通过对样品红外吸收谱的分析,从微观机理上解释了折射率随工艺条件变化的原因. |
| 关 键 词： | 光敏性溶胶-凝胶 SiO2薄膜 折射率 红外光谱 波导 |
| 收稿时间： | 2003-08-18 |
| 修稿时间： | 2003年8月18日 |
Fabrication and Characterization of Sol-Gel Silica Waveguides |
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, .Fabrication and Characterization of Sol-Gel Silica Waveguides[J].Acta Photonica Sinica,2004,33(9):1140-1143. |
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| Authors: | |
| Institution: | (1 R&D Center of Optoelectronics, Institute of Semiconductors of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100083) (2 Institute of Beijing Chemical Reagent, Beijing 100022) (3 School of Physical Science and Technology, Lanzhou University, Lanzhou 730000) |
| Abstract: | It is very convenient to fabricate the waveguides films using photosensitive sol-gel, which synthesized with ORMOSIL, due to the refractive index of this sol-gel is similar to that of SiO 2. The hybrid sol-gel occurred complex photochemical reactions when exposed to UV light, the unexposed regions of the film are removed through soaking the films in a special solvent. The effects of the UV exposure time and the postbake temperature on the refractive index and the structure of the films were investigated. |
| Keywords: | Photosensitive sol-gel SiO 2 film Refractive index FT-IR spectra Waveguide |
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