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| 低能离子束诱导Ag表面纳米金字塔微结构 | |
| 引用本文： | 陈智利,刘卫国,张锦,王蒙皎.低能离子束诱导Ag表面纳米金字塔微结构[J].光子学报,2014,43(1):116003. |
| 作者姓名： | 陈智利 刘卫国 张锦 王蒙皎 |
| 作者单位： | 1. 西安电子科技大学 微电子学院, 西安 710064; 2. 西安工业大学 光电工程学院, 西安 710032 |
| 基金项目： | 欧盟第七科技框架玛丽居里计划项目（No. 247644）；国防基础科研计划（No. A0920110016）；陕西省教育厅科学研究项目（No. 12JK0469）和西安工业大学校长基金（No. XAGDXJJ1002）资助 |
| 摘 要： | 利用离子束溅射诱导实验方法,在单晶Si(100)基底上辅助沉积银膜,研究了低能Ar+离子束30°入射时,不同离子束能量和束流密度以及基底温度对Ag纳米结构的影响.结果表明:在较低基底温度下(32~100℃)辅助沉积银膜,膜层表面会呈现排列紧密、晶粒尺寸一致的金字塔状纳米结构.当温度升高时(32~200℃),纳米微结构横向尺寸λc迅速增加,而粗糙度先减小(32~100℃)后迅速增大(100~200℃);当离子束能量1 400eV、束流密度15~45μA/cm2时,在相同温度下,随着离子束束流密度的增大,纳米晶粒横向尺寸基本不变,粗糙度略有增加;当离子束流密度为15μA/cm2、能量1 000~1 800eV时,在相同温度下,随着离子束能量的增加,银纳米结构尺寸增加,而表面粗糙度先增加,然后缓慢减小.自组织纳米结构的转变是溅射粗糙化和表面驰豫机制相互作用的结果. |
| 关 键 词： | 微纳米制造技术 低能离子束刻蚀 自组装纳米结构 离子束辅助 银金字塔微结构 |
| 收稿时间： | 2013-07-05 |
Nano Pyramid Microstructures on Ag Film Induced by Low Energy Ion Beams |
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| CHEN Zhi-li,LIU Wei-guo,ZHANG Jin,WANG Meng-jiao.Nano Pyramid Microstructures on Ag Film Induced by Low Energy Ion Beams[J].Acta Photonica Sinica,2014,43(1):116003. | |
| Authors: | CHEN Zhi-li LIU Wei-guo ZHANG Jin WANG Meng-jiao |
| Institution: | 1. Institute of Microelectronics, Xidian University, Xi'an 710064, China; 2. Xi'an Technological University, Xi'an 710032, China |
| Abstract: | |
| Keywords: | Micro and nano-fabrication technology Low energy ion beam erosion Self-organized nanostructure Ion beam assisted deposition Ag pyramid microstructure |
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