| 近红外宽截止窄带滤光膜的研制 |
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| 引用本文： | 刘冬梅,王晓娟,付秀华,张静,潘永刚.近红外宽截止窄带滤光膜的研制[J].光子学报,2014,43(1):131002. |
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| 作者姓名： | 刘冬梅 王晓娟 付秀华 张静 潘永刚 |
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| 作者单位： | 长春理工大学 光电工程学院, 长春 130022 |
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| 基金项目： | 红外技术预研项目（No. 5131xxxx103）资助 |
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| 摘 要： | 在空间光通信系统中,为满足光学系统对滤光膜的特殊要求,研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜,实现了降低深背景范围内杂散光干扰的要求.通过对薄膜材料特性的研究、膜系设计曲线的不断优化,得到了相对易于制备的窄带滤光膜结构;采用电子束加热蒸发及离子辅助沉积技术制备薄膜,采用光控加晶控同时监控的方法监控膜层厚度,通过不断优化工艺参量,提高中心波长处的透过率,最终成功得到了光谱性能较好的滤光膜.经光谱测试表明:所镀膜层在800~1 530nm、1 600~1 800nm波段平均透过率低于0.3%,1 565nm单点透过率高于92%,通带半带宽为18nm,满足光学系统的使用要求.
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| 关 键 词： | 光学薄膜 窄带滤光膜 真空镀膜 离子辅助沉积 光学特性 膜系设计 膜厚监控 |
| 收稿时间： | 2013-06-28 |
Design and Fabrication of Near-infrared Narrow-band Filters with Wide Rejection Band |
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| LIU Dong-mei,WANG Xiao-juan,FU Xiu-hua,ZHANG Jing,PAN Yong-gang.Design and Fabrication of Near-infrared Narrow-band Filters with Wide Rejection Band[J].Acta Photonica Sinica,2014,43(1):131002. |
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| Authors: | LIU Dong-mei WANG Xiao-juan FU Xiu-hua ZHANG Jing PAN Yong-gang |
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| Institution: | School of Optoelectronic Engineering, Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Optical films Narrow-band filter film Vacuum coating Ion-beam assisted deposition Optical character Film system design Thickness monitor |
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