| 488nm连续激光晶化本征非晶硅薄膜的喇曼光谱研究 |
| |
| 引用本文： | 段国平,陈俊领,韩俊鹤,黄明举.488nm连续激光晶化本征非晶硅薄膜的喇曼光谱研究[J].光子学报,2011,40(11):1657-1661. |
| |
| 作者姓名： | 段国平 陈俊领 韩俊鹤 黄明举 |
| |
| 作者单位： | 河南省光电信息材料与器件重点学科开放实验室,河南大学,物理与电子学院,河南,开封,475004 |
| |
| 摘 要： | 利用等离子增强化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,并选用488 nm波长的连续激光进行晶化.采用喇曼测试技术对本征非晶硅薄膜在不同激光功率密度和扫描时间下的晶化状态进行了表征,并用514 nm波长与488 nm波长对样品的晶化效果进行了比较.测试结果显示:激光照射时间60 s,激光功率密度在1.57×105 W/cm...
|
| 关 键 词： | 喇曼光谱 单晶硅 激光晶化 多晶硅 本征非晶硅 |
Raman Spectroscopic Study of the Crystallization of Intrinsic Amorphous Silicon Thin Films with a 488 nm Continuous-wave Laser |
| |
| DUAN Guo-ping,CHEN Jun-ling,HAN Jun-he,HUANG Ming-ju.Raman Spectroscopic Study of the Crystallization of Intrinsic Amorphous Silicon Thin Films with a 488 nm Continuous-wave Laser[J].Acta Photonica Sinica,2011,40(11):1657-1661. |
| |
| Authors: | DUAN Guo-ping CHEN Jun-ling HAN Jun-he HUANG Ming-ju |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
