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| 飞秒激光倒锥微孔加工的反射式扫描装置设计 | |
| 引用本文： | 赵华龙,周仁魁,赵卫,杨小君,李明,贾海妮.飞秒激光倒锥微孔加工的反射式扫描装置设计[J].光子学报,2014,43(9):914006. |
| 作者姓名： | 赵华龙 周仁魁 赵卫 杨小君 李明 贾海妮 |
| 作者单位： | 赵华龙:中国科学院西安光学精密机械研究所, 西安 710119 周仁魁:中国科学院西安光学精密机械研究所, 西安 710119 赵卫:中国科学院西安光学精密机械研究所, 西安 710119 杨小君:中国科学院西安光学精密机械研究所, 西安 710119 李明:中国科学院西安光学精密机械研究所, 西安 710119 贾海妮:中国科学院西安光学精密机械研究所, 西安 710119 |
| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备开发专项(No.2011YQ120075)资助 |
| 摘 要： | 基于道威棱镜扫描原理,设计了由高速旋转电机驱动三片K字形排布反射镜组成的反射式扫描装置,并分析了扫描钻孔准确度.结果表明:该扫描装置可用于飞秒激光高准确度环切钻孔系统,钻孔准确度不受光束质量影响,钻孔扫描速度二倍于电机转速且钻孔效率高、兼容多光谱波段;与道威棱镜系统相比,该系统装调准确度要求低,能避免透射系统中色散引起的飞秒激光脉宽展宽现象.测试结果显示该装置可以实现直径0.05~0.2mm、加工准确度小于±2μm倒锥孔的高效率加工. |
| 关 键 词： | 激光加工 超短脉冲 钻孔装置 喷油嘴 微细加工 倒锥孔 道威棱镜 |
| 收稿时间： | 2013/11/14 |
The Design of Reflective Scanning Device for Drilling the Inverted Cone Micro-hole with Femtosecond Laser Pulses |
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| Abstract: | |
| Keywords: | Laser beam machining Ultrashort pulse laser Drilling-equipment Nozzles Microfabrication Inverted cone Dove prism |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |