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微机构可调谐阵列滤光片的设计与模型分析
引用本文:刘旭,刘旭,等.微机构可调谐阵列滤光片的设计与模型分析[J].光子学报,2001,30(9):1150-1152.
作者姓名:刘旭  刘旭
作者单位:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 杭州 310027,杭州 310027,杭州 310027
基金项目:国家自然科学基金资助项目
摘    要:提出一种新颖的采用薄膜技术在玻璃基底上构造微机可调谐二维窄带滤光片阵列的方法,对器件进行了膜系设计及光谱响应模拟,通过器件的电动力学模型分析,设计出器件的形状与尺寸。

关 键 词:微空腔  微机构可调谐阵列滤光片  膜系设计  光谱响应模拟  电动力学模型
收稿时间:2001-01-03

DESIGN AND MODEL ANALYSIS OF TUNABLE OPTICAL FILTER ARRAY BASED ON MICROSTRUCTURE TECHNIQUE
Chen Min,Liu Xu,Li Haifeng The State Key Lab of Modern Optical Instrumentation,Zhejiang Univ,Ha ngzhou.DESIGN AND MODEL ANALYSIS OF TUNABLE OPTICAL FILTER ARRAY BASED ON MICROSTRUCTURE TECHNIQUE[J].Acta Photonica Sinica,2001,30(9):1150-1152.
Authors:Chen Min  Liu Xu  Li Haifeng The State Key Lab of Modern Optical Instrumentation  Zhejiang Univ  Ha ngzhou
Institution:Chen Min,Liu Xu,Li Haifeng The State Key Lab of Modern Optical Instrumentation,Zhejiang Univ,Ha ngzhou 310027
Abstract:A brand new technique is brought forward micr o tunable optical filter The optical thin film design and transmittive spectrum of the filter are given.T array on glass using optical thin fi lm technology. to construct hrough electrodynamics analysis,th e shape and dimens .ion of the device is decided
Keywords:MEMS  Micr ocavity  Optical filter array  
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