| 基于空间光调制器的飞秒激光深微孔加工方法 |
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| 引用本文： | 宋昶,杨小君,赵卫,段雨飞.基于空间光调制器的飞秒激光深微孔加工方法[J].光子学报,2020,49(8):107-114. |
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| 作者姓名： | 宋昶 杨小君 赵卫 段雨飞 |
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| 作者单位： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119;中国科学院大学,北京 100049,中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119,中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119,中国科学院西安光学精密机械研究所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119;中国科学院大学,北京 100049 |
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| 摘 要： | 针对飞秒激光振镜加工系统中聚焦透镜焦深短等原因导致微孔加工深度不足的问题,提出了一种基于高损伤阈值空间光调制器加载菲涅尔透镜相位进行焦点轴向调控的加工方法 .通过加载不同焦距的菲涅尔透镜相位图,控制焦点以100μm为间隔进行焦点轴向位移,随着加工深度的增加控制焦点向下移动,并开展了相应的实验加工和测试.实验结果表明,采用该方法在保证高加工质量的前提条件下,在厚度为2 mm的不锈钢样件上实现了直径约为330μm的微孔加工.该方法开辟了二维振镜系统实现超深微孔加工的新探索,在激光加工领域有较好的应用前景.
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| 关 键 词： | 高损伤阈值空间光调制器 飞秒激光 微孔加工 相位调制 焦点控制 |
Depth-micro Laser Drilling Methods Based on Spatial Light Modulator |
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| SONG Chang,YANG Xiao-jun,ZHAO Wei,DUAN Yu-fei.Depth-micro Laser Drilling Methods Based on Spatial Light Modulator[J].Acta Photonica Sinica,2020,49(8):107-114. |
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| Authors: | SONG Chang YANG Xiao-jun ZHAO Wei DUAN Yu-fei |
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