| 高衍射效率连续面形分束器的设计与制备 |
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| 引用本文： | 刘文静,庞辉,曹阿秀,吴育娟,史立芳,付永启,邓启凌.高衍射效率连续面形分束器的设计与制备[J].光子学报,2019,48(7):9-16. |
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| 作者姓名： | 刘文静 庞辉 曹阿秀 吴育娟 史立芳 付永启 邓启凌 |
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| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所,成都 610209;电子科技大学 物理学院,成都 611731;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院光电技术研究所,成都,610209;电子科技大学 物理学院,成都,611731 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国科学院科研仪器设备研制项目;国家重点研发计划;四川省科技计划;四川省科技支撑计划;中国科学院青年创新促进会项目;西部之光"人才培养计划 |
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| 摘 要： | 为了解决目前光学分束器件衍射效率低的问题,在传统的Gerchberg-Saxton(GS)算法基础上,对初始相位和迭代算法中的振幅限制方式作改进.先利用二次相位来作为迭代算法的初始相位,再在迭代过程中将输出平面分为信号区和噪音区两部分,保持这两部分的相位不变,信号区内振幅乘上一个随迭代次数不断变化的因子,噪音区内振幅保持不变.通过该方法设计9×9连续面形的分束器件,并与传统GS算法设计的分束器进行了对比,结果表明:GS算法设计得到的分束器相位存在严重的突变和不连续等问题,而本文方法设计得到的分束器相位连续平滑,可利用移动掩模技术加工.最终制备出1×3和1×9分束器,其实测的衍射效率分别为83.5%和89.4%,均匀性误差分别为3.56%和15.23%.
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| 关 键 词： | 衍射 二元光学 Gerchberg-Saxton算法 移动掩模技术 衍射光学元件 分束器 |
Design and Preparation of Continuous Surface Beam Splitter with High Diffraction Efficiency |
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| LIU Wen-jing,PANG Hui,CAO A-xiu,WU Yu-juan,SHI Li-fang,FU Yong-qi,DENG Qi-ling.Design and Preparation of Continuous Surface Beam Splitter with High Diffraction Efficiency[J].Acta Photonica Sinica,2019,48(7):9-16. |
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| Authors: | LIU Wen-jing PANG Hui CAO A-xiu WU Yu-juan SHI Li-fang FU Yong-qi DENG Qi-ling |
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| Institution: | (Institute of Optics and Electronics Chinese Academy of Sciences,Chengdu 610209,China;College of Physics,University of Electronic Science and Technology,Chengdu 611731,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Abstract: | LIU Wen-jing;PANG Hui;CAO A-xiu;WU Yu-juan;SHI Li-fang;FU Yong-qi;DENG Qi-ling(Institute of Optics and Electronics Chinese Academy of Sciences,Chengdu 610209,China;College of Physics,University of Electronic Science and Technology,Chengdu 611731,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China) |
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| Keywords: | Diffractive Binary optics Gerchberg-Saxton algorithm Moving mask technique Diffractive optical element Beam splitter |
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