| 自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 |
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| 引用本文： | 孙彦杰,刘华,李金环,陆子凤,张莹,罗钧.自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘[J].光子学报,2019,48(4):65-73. |
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| 作者姓名： | 孙彦杰 刘华 李金环 陆子凤 张莹 罗钧 |
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| 作者单位： | 东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心,长春,130024;东北师范大学物理学院国家级实验教学示范中心,长春130024;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春130024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;吉林省科技发展计划;吉林省科技发展计划;应用光学国家重点实验室开放基金;实验室开放基金 |
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| 摘 要： | 数字微镜阵列扫描曝光图形在某些方向的边缘存在约一个像素的锯齿,对此设计自由曲面光学透镜,将其安装在距离数字微镜阵列窗口玻璃1mm附近,使微镜阵列成像线性错位,在保持原有线宽和光刻效率的情况下,平滑曝光图形边缘.理论分析了微镜阵列成像线性错位形式及其表达式.根据物像映射原理,用Matlab软件计算出自由曲面光学透镜面形初始数据,通过Zemax软件优化得到理想透镜模型,模拟了安装该透镜模型前后曝光图形效果.结果表明:在±2μm容差范围内,安装该透镜且曝光总能量为原来的0.9倍时,曝光图形的横线边缘锯齿由0.14个像素缩小至0～0.01个像素,斜线边缘锯齿由0.338个像素缩小至0.110～0.125个像素,且线长变化范围为-0.153～0.05个像素,线宽变化范围为-0.058～0.153个像素,变形范围不影响10～30μm pcb板的制作精度.该方法可同时提高能量利用率,降低光源成本.
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| 关 键 词： | 数字微镜阵列 扫描光刻 自由曲面光学透镜 成像线性错位 图形边缘 投影成像系统 |
Smoothing the Edge of DMD Scanning Pattern by Free Surface Lens |
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| SUN Yan-jie,LIU Hua,LI Jin-huan,LU Zi-feng,ZHANG Ying,LUO Jun.Smoothing the Edge of DMD Scanning Pattern by Free Surface Lens[J].Acta Photonica Sinica,2019,48(4):65-73. |
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| Authors: | SUN Yan-jie LIU Hua LI Jin-huan LU Zi-feng ZHANG Ying LUO Jun |
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| Institution: | (Demonstration Center for Experimental Physics Education,College of Physics,Northeast Normal University,Changchun130024,China;State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optical Precision Machinery and Physics,Chinese Academy of Science,Changchun130024,China) |
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| Abstract: | SUN Yan-jie;LIU Hua;LI Jin-huan;LU Zi-feng;ZHANG Ying;LUO Jun(Demonstration Center for Experimental Physics Education,College of Physics,Northeast Normal University,Changchun130024,China;State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optical Precision Machinery and Physics,Chinese Academy of Science,Changchun130024,China) |
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| Keywords: | Digital micro-mirror device Scanning lithography Free surface optical lens Linear dislocation Lithography graphic edge Projection imaging system |
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