| 近红外激光薄膜滤光片的研制 |
| |
| 引用本文： | 李候俊,徐均琪,王建,李绵,苏俊宏.近红外激光薄膜滤光片的研制[J].光子学报,2019,48(9). |
| |
| 作者姓名： | 李候俊 徐均琪 王建 李绵 苏俊宏 |
| |
| 作者单位： | 西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710072;西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710072;西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710072;西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710072;西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安,710072 |
| |
| 基金项目： | 陕西省国际科技合作与交流计划资助项目;西安市智能探视感知重点实验室项目 |
| |
| 摘 要： | 以双抛Si片为基底,采用离子束辅助热蒸发沉积技术研制了1.2～3μm波段激光薄膜滤光片.采用长波通滤光片与减反射膜相结合的薄膜样品设计方法,高、低折射率材料分别选用ZnS和MgF2,综合考虑光谱特性和电场强度分布,使用TFCale膜系软件设计出1.064μm高反、1.2～3μm波段增透的长波通滤光片.长波通膜系膜系结构为G|4H2L1.5H2L2H1.5L2H4L|A,减反射膜膜系结构为G|3.5H3.5L|A.最终实现1.2～3μm波段峰值透过率达98.48%,平均透过率为92.35%,1.064μm处透过率为5.09%的光谱特性.对薄膜样品分别采用离子束处理和退火处理,发现适当的工艺参数,有助于提高薄膜激光损伤阈值,当退火温度为250℃时,其激光损伤阈值可达6.3J/cm~2.本文研究可为近红外薄膜滤光片设计和制备提供参考.
|
| 关 键 词： | 近红外薄膜 离子束辅助热蒸发沉积 激光损伤阈值 电场强度 后续处理 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
