| 硅基光波导芯层材料及波导分束器的制备 |
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| 引用本文： | 王哲哲,赵高扬,张晓磊,雷瑛.硅基光波导芯层材料及波导分束器的制备[J].光子学报,2009,38(9). |
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| 作者姓名： | 王哲哲 赵高扬 张晓磊 雷瑛 |
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| 作者单位： | 西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，西安应用材料创新基金 |
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| 摘 要： | 本文采用溶胶-凝胶法制备了具有紫外感光性的SiO2/ZrO2/H有机无机复合薄膜,利用分光式椭偏仪测得该薄膜在光纤的常用通信窗口0.85 μm、1.31 μm和1.55 μm波长附近折射率分别为1.556 9、1.548 9和1.547 2,与下包层SiO2的折射率(1.46)相比,其折射率差比δ分别为6.64%,6.09%和5.97%,可作为芯层材料用于光波导的制备.通过控制提拉速率可以制作出厚度分别为1.29,2.20,4.00,5.44和6.82 μm的SiO2/ZrO2/H芯层薄膜,以满足0,1,2,3和4阶导模的传输要求.进而利用该薄膜自身的感光特性结合紫外掩模法,制备出相应厚度的1×8Y分支光功率分配器.通光实验表明,该光功分器能够将1.53～1.56 μm波长的光限制在波导内,实现光的传输和分束功能.
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| 关 键 词： | 感光溶胶-凝胶 有机无机复合 Y分支 光功率分配器 |
Fabrication of the Si-based Waveguide Core Materials and the Splitters |
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| WANG Zhe-zhe,ZHAO Gao-yang,ZHANG Xiao-lei,LEI Ying.Fabrication of the Si-based Waveguide Core Materials and the Splitters[J].Acta Photonica Sinica,2009,38(9). |
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| Authors: | WANG Zhe-zhe ZHAO Gao-yang ZHANG Xiao-lei LEI Ying |
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