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| 基于三维缺陷检测的DMD数字条纹投影光学系统设计 | |
| 引用本文： | 陈方涵,赵光宇,蒋仕龙,彭文达.基于三维缺陷检测的DMD数字条纹投影光学系统设计[J].光子学报,2015,44(2):169-175. |
| 作者姓名： | 陈方涵 赵光宇 蒋仕龙 彭文达 |
| 作者单位： | 1. 深圳大学光电工程学院光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室,广东深圳518060;北京大学深圳研究院运动控制技术实验室,广东深圳518057 2. 华南师范大学华南先进光电子研究院光及电磁波研究中心,广州,510006 3. 北京大学深圳研究院运动控制技术实验室,广东深圳,518057 4. 深圳大学光电工程学院光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室,广东深圳,518060 |
| 基金项目： | 广东省引进创新科研团队计划(No.201001D0104799318)资助 |
| 摘 要： | 基于半导体行业中PCB焊膏印刷检测的实际应用,采用0.45 WXGA DMD芯片设计了数字条纹投影光学系统.以LED作为光源,结合透镜阵列照明DMD芯片;同时,为了减小投影三角关系造成的条纹周期不均匀性对检测结果的影响,采用双远心光路结构将DMD生成的条纹成像到待测表面,且适用的最小检测面积为1mm2.光学模拟结果表明,该数字投影系统在被投影表面上的照明均匀性为91%,投射条纹的对比度高于0.8,且条纹周期均匀,为实际应用与后续条纹分析提供了良好保障. |
| 关 键 词： | 光学投影 表面缺陷 LED照明 数字条纹投影 数字微镜元件 双远心结构 |
Optical System Design of DMD Digital Fringe Projection Based on the Application of 3-D Defect Inspections |
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| CHEN Fang-han,ZHAO Guang-yu,JIANG Shi-long,PENG Wen-da.Optical System Design of DMD Digital Fringe Projection Based on the Application of 3-D Defect Inspections[J].Acta Photonica Sinica,2015,44(2):169-175. | |
| Authors: | CHEN Fang-han ZHAO Guang-yu JIANG Shi-long PENG Wen-da |
| Institution: | CHEN Fang-han;ZHAO Guang-yu;JIANG Shi-long;PENG Wen-da;Key Laboratory of Optoelectronic Devices and System of Ministry of Education and Guangdong Province,College of optoelectronic engineering,Shenzhen University;Laboratory of motion control Technology,PKU-HKUST Shenzhen-Hongkong Institution;South China Academy of Advanced Optoelectronics,Center for Optics and Electromagnetic Research,South Normal China University City Campus; |
| Abstract: | |
| Keywords: | Optical projector Surface defect LED lighting Digital fringe projection Digital Micro-Mirror Device(DMD) Double-telecentric structure |
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