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| 集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型光谱模组及其波长定标（英文） | |
| 引用本文： | 王绪泉,黄松垒,于月华,叶捷敏,邵秀梅,方家熊.集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型光谱模组及其波长定标（英文）[J].光子学报,2018(5). |
| 作者姓名： | 王绪泉 黄松垒 于月华 叶捷敏 邵秀梅 方家熊 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所传感技术联合国家重点实验室;中国科学院上海技术物理研究所中国科学院红外成像材料与器件重点实验室; |
| 摘 要： | 提出一种集成线性渐变滤光片和InGaAs焦平面的微型近红外光谱模组.作为核心分光元件,线性渐变滤光片被紧密耦合在光敏芯片表面.相比于光栅分光方式,模组具有紧凑的光学结构和稳定的光学特性.对此光谱模组进行波长定标实验,并给出了标定准确性评价.实验结果表明,该光谱模组的波长范围为900~1 700nm,波长准确性优于1.3nm,光谱分辨率小于通道中心波长的1.25%.基于此光谱模组的波长定标方法准确、可行,可以被用于微型近红外仪等在线光谱分析领域. |
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