| 添加剂对纳米压印模板光栅结构填充效果的改善作用 |
| |
| 引用本文： | 郑永广,张然,刘泽,褚金奎.添加剂对纳米压印模板光栅结构填充效果的改善作用[J].光子学报,2018(9). |
| |
| 作者姓名： | 郑永广 张然 刘泽 褚金奎 |
| |
| 作者单位： | 大连理工大学机械工程学院微系统研究中心 |
| |
| 摘 要： | 为改善电铸填充高深宽比纳米光栅结构时出现的空洞现象,本文向电铸液中添加平整剂健那绿,利用健那绿分子的静电吸附原理消除该工艺缺陷.结合纳米压印技术及电铸工艺,在柔性基底上完成了纳米压印镍模板的复制.复制过程中,首先通过热压将硅原始模板上的纳米光栅结构转移到聚合物基底上,制作出压印所需的软模板;然后采用溅射工艺在聚合物基底纳米结构表面沉积镍种子层并通过电铸工艺完成纳米光栅结构的填充及复制模板背板的生长;最后将铸层与聚合物基底进行分离.通过此工艺,成功复制了一块带有6个1.3mm×1.3mm纳米光栅区域的纳米压印镍模板,模板表面光栅周期为201nm,线宽98nm,深度104nm.与原始硅模板相比,复制模板特征尺寸偏差在5%以内,表明复制模板特征尺寸与相应原始模板特征尺寸之间有良好的一致性.热压实验后复制模板表面光栅结构周期无偏差,线宽偏差在2%以内,实验结果表明复制的纳米压印模板机械强度足以适用于热压过程.
|
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
