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| 柔性SrTiO_3/Ag/SrTiO_3复合结构透明导电薄膜的制备和性能研究 | |
| 引用本文： | 董清臣,葛磊蛟,孙永涛,于仕辉.柔性SrTiO_3/Ag/SrTiO_3复合结构透明导电薄膜的制备和性能研究[J].光子学报,2018(5). |
| 作者姓名： | 董清臣 葛磊蛟 孙永涛 于仕辉 |
| 作者单位： | 平顶山工业职业技术学院自动化与信息工程学院;天津大学电气自动化与信息工程学院;天津大学力学系天津市非线性动力学与控制重点实验室;天津大学微电子学院; |
| 摘 要： | 为获得高性能的柔性透明导电薄膜,采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO(30nm)/Ag/STO(30nm)复合结构透明导电薄膜.分别对不同中间Ag层厚度薄膜的结构、光学和电学性质进行了研究.研究发现:随着中间Ag层厚度的增加,可见光区的平均透过率先增大后减小,电阻率和方块电阻持续减小;当中间Ag层厚度为11nm时,复合结构透明导电薄膜具有最佳的品质因子为14.23×10~(-3)Ω~(-1),此时,其可见光区平均透过率为82%,方块电阻为9.2Ω/sq.. |
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