| 白光干涉解调光纤MEMS压力传感器 |
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| 引用本文： | 江小峰,林春,谢海鹤,颜黄苹,张建城,黄元庆.白光干涉解调光纤MEMS压力传感器[J].光子学报,2014(10). |
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| 作者姓名： | 江小峰 林春 谢海鹤 颜黄苹 张建城 黄元庆 |
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| 作者单位： | 厦门大学物理与机电工程学院机电工程系; |
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| 基金项目： | 福建省自然科学基金(No.2013J01251)资助 |
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| 摘 要： | 为了在强电磁干扰、高温、高压等恶劣环境下实现压力的测量,进一步提高传感器的小型化并降低其制作成本,提出并设计了一种基于白光干涉解调的光纤法布里-珀罗压力传感器,实现了传感器的压力测量.基于微机电系统技术,采用光刻、阳极键合以及化学腐蚀的方法制作了以硅和玻璃构成的法布里-珀罗腔体,使用二氧化碳激光器对法布里-珀罗腔体与光纤进行焊接.基于白光干涉解调技术,利用斐索干涉仪与法布里-珀罗腔体的互相关关系对传感器进行了解调,并做了压力实验.实验结果表明:传感器在120~300kPa范围内具有较高的腔长变化灵敏度和线性度,分别为9.012 7nm/kPa和99.9%;传感器分辨率为0.1nm,重复性为0.1%.研究成果对低成本、高一致性光纤F-P传感器的批量制作具有一定的参考价值.
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| 关 键 词： | F-P干涉 白光干涉 斐索干涉仪 MEMS 激光焊接 |
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