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用于355nm紫外激光器的消偏振二向色镜
引用本文:庄秋慧,刘国军,付秀华,马孜,王三强.用于355nm紫外激光器的消偏振二向色镜[J].光子学报,2016(7):160-164.
作者姓名:庄秋慧  刘国军  付秀华  马孜  王三强
作者单位:1. 长春理工大学光电工程学院,长春130022;重庆理工大学电子信息与自动化学院,重庆400050;2. 长春理工大学光电工程学院,长春,130022;3. 西南技术物理研究所,成都,610000;4. 国网重庆市电力公司电力科学研究院,重庆,401123
基金项目:the Chongqing Basic Science and Advanced Technology Research(No.cstc2015jcyjA40022)国家自然科学基金(Nos.51275551;51505053)和重庆市基础科学与前沿技术研究专项(No.cstc2015jcyjA40022)资助
摘    要:采用离子束辅助电子束成膜,用双重膜厚监控方法监控各膜层厚度,制备了45°入射、808nm高反、1064nm高透的消偏振二向色镜,并用于全固态355nm激光器.将部分薄膜样品在250℃进行退火处理后,用Lambda950分光光度计测试该样品的光谱性能;用表面热透镜技术测量退火前后该样品的弱吸收值;用激光阈值损伤装置测试该样品在1064nm调Q激光下的损伤阈值;用NIKON显微镜观察样品在不同激光能量辐照下的破斑形貌.实验结果表明:波长为808nm和1 064nm时,薄膜透射率分别为0.04%和99.6%,符合设计要求,满足全固态355nm紫外激光器系统所要求的光学性能指标;退火后的弱吸收值较退火前有所降低;在激光作用下薄膜产生微破坏喷出,说明膜层不会向灾难性破坏演变.

关 键 词:薄膜光学  紫外激光器  激光损伤  消偏振  光学性质  膜厚

Depolarised Dichroic Mirror for the 355nm Ultraviolet Laser System
Abstract:
Keywords:Thin film optics  Ultraviolet lasers  Laser induced damage  Depolarization  Optical properties  Film thickness
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