二阶关联成像系统宽光谱吸收膜研制 |
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引用本文: | 付秀华,熊仕富,刘冬梅,张静,程慧婷.二阶关联成像系统宽光谱吸收膜研制[J].光子学报,2016(10):167-172. |
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作者姓名: | 付秀华 熊仕富 刘冬梅 张静 程慧婷 |
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作者单位: | 长春理工大学光电工程学院,长春,130022 |
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基金项目: | 吉林省重大科技攻关专项(No.20140203002GX)资助,The Major Scientific and Technological Projects of Jilin Province(No.20140203002GX) |
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摘 要: | 为满足关联成像系统抑制背景的需求,选用Al、Cr和SiO_2作为镀膜材料,依据薄膜吸收理论,结合膜系设计软件设计了宽光谱吸收膜,并采用真空沉积技术获得了该薄膜样品.通过真空阶梯式退火,减小了膜层内应力,解决了薄膜牢固度问题;采用交互式分析对测试结果逆向反演,通过优化工艺参量,使膜系中敏感薄层厚度得以精准控制,并减小了膜厚控制误差.制备的吸收膜在400~1 100nm波段平均吸收率达到99.1%,满足系统使用要求.
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关 键 词: | 薄膜 关联成像 阶梯式退火 逆向反演 内应力 吸收膜 |
Study and Fabrication Broad Spectral Absorbing Film in Second-order Correlated Imaging System |
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Abstract: | |
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Keywords: | Thin film Correlated imaging Stepped vacuum annealing Reverse inversion Internal stress Absorbing film |
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