| 极紫外与软X射线用非晶碳膜全反射镜的研究 |
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| 引用本文： | 谭默言,蒋励,王占山.极紫外与软X射线用非晶碳膜全反射镜的研究[J].光子学报,2016(6):129-133. |
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| 作者姓名： | 谭默言 蒋励 王占山 |
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| 作者单位： | 1. 上海应用技术学院理学院,上海,201418;2. 同济大学先进微结构材料教育部重点实验室,上海200092;同济大学精密光学工程技术研究所,上海200092 |
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| 基金项目： | 国家重大科学仪器设备专项(No.2012YQ13012505)资助 National Key Foundation for Exploring Scientific Instrument of China(No.2012YQ13012505) |
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| 摘 要： | 用高真空磁控溅射设备分别在工作气压为0.40Pa和0.67Pa下制备了非晶碳膜全反射镜样品,利用X射线掠入射反射测量了膜层厚度、粗糙度和膜层密度,用原子力显微镜测量了样品的表面粗糙度,用同步辐射测量了不同工作气压下制备的非晶碳膜全反射镜的反射率,并对测量结果进行了分析讨论.测试结果表明:在0.40Pa工作气压下制备的非晶碳膜反射镜的性能优于在0.67Pa工作气压下制备的反射镜的性能,在掠入射角小于4.5°时,非晶碳膜全反射镜在5nm以上波段有比较平坦的高反射率,在波长小于5nm波段,反射率急剧下降.
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| 关 键 词： | 薄膜 非晶碳 全反射镜 软X射线 磁控溅射 反射率 |
Total Reflection Amorphous Carbon Mirrors in EUV and Soft X-ray Range |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Film Amorphous carbon Total reflection mirror Soft X-ray Magnetron sputtering Reflection |
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