| 带边缘驱动的214单元单压电变形镜仿真与实验 |
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| 引用本文： | 陈凯,陈俊杰,毛宇昕,马剑强,褚家如.带边缘驱动的214单元单压电变形镜仿真与实验[J].光子学报,2016(8):44-49. |
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| 作者姓名： | 陈凯 陈俊杰 毛宇昕 马剑强 褚家如 |
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| 作者单位： | 1. 宁波大学机械工程与力学学院,浙江宁波,315211;2. 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,合肥,230027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.11303019)、浙江省自然科学基金(No.LQ13E050016)和宁波大学学科项目(No.xkl1325)资助，The National Natural Science Foundation of China (No.11303019) |
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| 摘 要： | 为了提高用于天文自适应光学系统的单压电变形镜的校正能力,提出了一种直径为75 mm且包含214个单元的带边缘驱动的单压电变形镜,单压电变形镜的边缘由数个压电堆栈执行器支撑.首先,通过有限元方法对变形镜进行仿真建模,分析比较三点、六点能动支撑对变形镜性能的影响.之后制备了三点、六点边缘驱动的变形镜样机.最后,利用波前传感器测试了边缘执行器对低阶像差的校正能力.实验结果表明:在0~100 V电压下,三点能动支撑与六点能动支撑变形镜均可重构大于12μm的倾斜像差,对应的归一化残余误差小于0.06,六点致动对像散和三叶草像差也具有较好的校正能力,证明边缘执行器可提高单压电变形镜的校正能力.
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| 关 键 词： | 自适应光学 单压电变形镜 像差校正 压电堆栈执行器 波前探测 |
Simulation and Experiment of 214-element Unimorph Deformable Mirror with Edge-Driven |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Adaptive optics Unimorph deformable mirror Aberration correction Piezoelectric stack actuator Wavefront sensing |
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