| 傅里叶变换红外光谱仪中动镜系统的设计 |
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| 引用本文： | 石磊,刘佳,郜武,张倩暄,王巍.傅里叶变换红外光谱仪中动镜系统的设计[J].光子学报,2015,44(4). |
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| 作者姓名： | 石磊 刘佳 郜武 张倩暄 王巍 |
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| 作者单位： | 1. 北京雪迪龙科技股份有限公司,北京,102206
2. 北京航天控制仪器研究所,北京,100854 |
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| 摘 要： | 为提升傅里叶变换红外光谱仪的整体性能,基于立体角镜与平面镜组合的光学结构,设计了一种柔性支撑机构的摆动型动镜机构.建立和分析该机构控制模型,设计了相适应的反馈控制算法.结果表明:该结构具有无摩擦、抗震性好等优点;光学结构能够很好地补偿动镜摆动造成的倾斜与横移误差,保证仪器的重复性与稳定性;通过对控制算法参量的调整,动镜机构的扫描准确度优于98.4%.在4cm-1的光谱分辨率条件下,使用该动镜机构所测得的红外光谱信噪比优于80000:1,能够满足高准确度定量分析的要求.
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| 关 键 词： | 傅里叶变换红外光谱仪 动镜 柔性机构 PID |
Design of a Moving Mirror Scanning System in Fourier Transform Infrared Spectrometer |
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| SHI Lei,LIU Jia,GAO Wu,ZHANG Qian-xuan,WANG Wei.Design of a Moving Mirror Scanning System in Fourier Transform Infrared Spectrometer[J].Acta Photonica Sinica,2015,44(4). |
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| Authors: | SHI Lei LIU Jia GAO Wu ZHANG Qian-xuan WANG Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Fourier Transform Infrared Spectrometer Moving mirror scanning system Swing mechanism PID |
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