| 椭圆偏振法测定在线Low-E玻璃的可见-近红外光学常数与膜厚 |
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| 引用本文： | 纪贝,黄水平,周骏.椭圆偏振法测定在线Low-E玻璃的可见-近红外光学常数与膜厚[J].光子学报,2015,44(5). |
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| 作者姓名： | 纪贝 黄水平 周骏 |
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| 作者单位： | 宁波大学,理学院,浙江宁波315211 |
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| 摘 要： | 从在线Low-E玻璃光学机理出发,用椭圆偏振光谱仪对在线Low-E玻璃功能层和过渡层的可见-近红外波段的光学常数进行研究.测量了样品在三个不同入射角的椭偏参数,分别用Lorentz双振子模型和Cauchy模型来描述Low-E玻璃功能层和过渡层的光学色散特性.通过拟合椭偏参数获得在线Low-E玻璃的光学常数及每层膜厚度,并用扫描电镜对样品的膜厚进行表征.结果表明,Lorentz双振子模型和Cauchy模型能很好地解释在线Low-E玻璃的光学特性;同时,椭圆偏振法也为多层膜系统提供了一种测定光学常数和膜厚的可靠方法.
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| 关 键 词： | 在线low-E玻璃 光学常数 椭圆偏振法 Lorentz双振子模型 |
Determination of Optical Constants and Thickness of Online Low-E Glass in Visible-near Infrared Region by Ellipsometry |
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| JI Bei,HUANG Shui-ping,ZHOU Jun.Determination of Optical Constants and Thickness of Online Low-E Glass in Visible-near Infrared Region by Ellipsometry[J].Acta Photonica Sinica,2015,44(5). |
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| Authors: | JI Bei HUANG Shui-ping ZHOU Jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Online Low-E glass Optical constants Ellipsometry Lorentz two-oscillator model |
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