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| 亚波长超微细减反射结构研究 | |
| 引用本文： | 杨李茗,柴立群,周礼书,杨春林.亚波长超微细减反射结构研究[J].光子学报,2002,31(Z2):87-92. |
| 作者姓名： | 杨李茗 柴立群 周礼书 杨春林 |
| 摘 要： | 当光栅周期小于所使用的波长时，亚微米的表面微结构可以具有减反射作用。西方报导率了理论研究和制作技术，成功地制作了周期为400nm等的超微细结构，测量结果与理论值具有良好的一致性。 |
| 关 键 词： | 超微细结构 减反射 亚波长 BKK矢量分析法 光栅 零级反向衍射 超微加工技术 刻蚀 衍射光学 |
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