| 光激光拾谐振法确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量 |
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| 引用本文： | 张少君,刘月明.光激光拾谐振法确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量[J].光子学报,2005,34(6):877-880. |
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| 作者姓名： | 张少君 刘月明 |
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| 作者单位： | 西安理工大学理学院物理系,西安,710048;西安理工大学理学院物理系,西安,710048;中国科学院西安光学精密机械研究所,西安,710068 |
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| 基金项目： | 陕西省教委专项科研计划项目(02JK155)，西安理工大学科技创新研究计划项目资助(102210304) |
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| 摘 要： | 提出了一种采用光热激励和光拾取的全光谐振技术方法,确定硅微机械薄膜的杨氏弹性模量.该方法基于光热激励的致动机理,使用调制光对硅微机械薄膜结构进行光热激励使之谐振,利用光纤传感技术拾取其谐振频率信号,进而利用谐振理论模型确定其杨氏弹性模量.为准确确定杨氏弹性模量,利用了硅微薄膜结构的前三阶谐振频率进行多次测量,求均值的方法.为简化光激励测试系统,设计了新颖结构的单光源激励测试系统,同时实现了对微机械薄膜结构的激振和信号拾取.
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| 关 键 词： | 硅微机械薄膜 杨氏弹性模量 光激励谐振 光纤拾取 |
| 收稿时间： | 2004-12-13 |
| 修稿时间： | 2004年12月13 |
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