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飞秒激光制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器
引用本文:吴易明,李明,程光华.飞秒激光制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器[J].光子学报,2014,39(4):584-587.
作者姓名:吴易明  李明  程光华
作者单位:(1 中国科学院西安光学精密机械研究所 a.光学定向与瞄准技术研究室;b.瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119)
(2 中国科学院研究生院,北京 100049)
基金项目:国家自然科学基金(60678013)资助
摘    要:基于飞秒激光光刻技术,提出了光纤端面光刻制造微型光纤法布里-珀罗干涉传感器的方案.该方案解决了传统飞秒激光制造光纤F-P传感器的平行度差的问题,制造了对比度超过20 dB的高灵敏度和高分辨率的微型F-P光纤传感器件.该制造方法简单、参量可控,制作的器件可应用恶劣温度条件下应变的精确测量.

关 键 词:飞秒激光  光纤F-P干涉型传感器  平行度和光洁度
收稿时间:2009-06-26

Fabricating Micro Fiber Fabry-Perot Sensor with Femtosecond Laser Pulses
WU Yi-Ming,LI Ming,CHENG Guang-Hua.Fabricating Micro Fiber Fabry-Perot Sensor with Femtosecond Laser Pulses[J].Acta Photonica Sinica,2014,39(4):584-587.
Authors:WU Yi-Ming  LI Ming  CHENG Guang-Hua
Institution:(1 a.Optical Directional and Pointing Technique Research Center| b.State Key Laboratory of Transient Optics and Photonics,Xi′an Institute of Optics and Precision Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Xi′an 710119,China)
(2 Graduate University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China)
Abstract:
Keywords:Femtosecond laser  Fiber-optic Fabry-Perot cavity  Parallelism and Surface roughness
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