软X射线位相型波带片的初步研究 |
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引用本文: | 刘颖,付绍军.软X射线位相型波带片的初步研究[J].光子学报,2002,31(Z2):332-334. |
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作者姓名: | 刘颖 付绍军 |
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摘 要: | 简述了国内外软X射线波带片的发展及其最新研究成果。根据光波的矢量分析方法,数值模拟计算了入射波长为软X射线显微术中常用的2.3、3.2和4.5nm时,以不同材料制作的位相波带片其衍射效率随材料厚度的变化曲线,初步确定出适于制作位相波带片的几种材料。简要介绍了拟采取的制作软X射线位相波带片的方法。
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关 键 词: | 软X射线 位相型波带片 发展 矢量分析 数值模拟 初步设计 制作工艺 |
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