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| 用离子束刻蚀法制作层状液相外延脊型磁光波导 | |
| 引用本文： | 欧阳嘉,张颖.用离子束刻蚀法制作层状液相外延脊型磁光波导[J].光子学报,1995,24(2):190-192. |
| 作者姓名： | 欧阳嘉 张颖 |
| 作者单位： | 华中理工大学固体电子学系 |
| 摘 要： | 改变基片转速,连续外延生长了双层磁光薄膜,其折射率之差小于10-2用NiCr膜作掩膜,在双层磁光薄膜进行离子束刻蚀,制作了宽度为20μm,长度为6mm,高度为的0.9μm的脊形波导,并在此波导上进行了光传输实验。 |
| 关 键 词： | 层状磁光薄膜 脊形波导 光耦合 |
| 收稿时间： | 1994-03-14 |
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