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| 一种超小型1×2微机械光开关 | |
| 作者姓名： | 鲍俊峰 邹勇卓 吴兴坤 |
| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江大学光及电磁波研究中心,杭州,310027 |
| 摘 要： | 设计制作了一种非硅基底的1×2微机械光开关,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换,开关时间＜3 ms,封装尺寸缩小至21 mm×16 mm×12.6 mm,驱动电压5 VDC,经5×106次开关重复性测试,性能稳定. |
| 关 键 词： | 光纤通讯 光开关 微机械 |
| 收稿时间： | 2003-07-21 |
| 修稿时间： | 2003-07-21 |
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