| SnO2:Zr薄膜对SO2气体的光学气敏特性研究 |
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| 引用本文： | 汤兆胜,赵强.SnO2:Zr薄膜对SO2气体的光学气敏特性研究[J].光子学报,2000,29(3):277-281. |
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| 作者姓名： | 汤兆胜 赵强 |
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| 作者单位： | 上海光学精密机械研究所薄膜中心,上海 |
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| 摘 要： | 采用双靶反应溅射制得SnO2:Zr薄膜,并对它作了150°C下SO2气敏光学特性试验,首次发现在适当工艺条件下制得的SnO2:Zr薄膜在近红外波段(1.7～3μm)对SO2气体具有明显的光学气敏特性,在2.65μm附近透过率上升幅度达10%左右.Zr的引入增强了SnO2薄膜对SO2的吸附能力.用二次离子质谱对吸附SO2前后的薄膜作了组分相对含量分析.本实验结果对今后研究高性能SO2气敏传感器有一定的价值.
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| 关 键 词： | 气体传感器 SO2 SnO2 薄膜 |
| 收稿时间： | 1999-09-20 |
| 修稿时间： | 1999－09－20 |
OPTICAL
SENSITIVE CHARACTERISTIC TO SO2 OF SnO2 |
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| Tang
Zhaosheng,Zhao Qiang,Feng Shimeng,Fan Zhengxiu.OPTICAL
SENSITIVE CHARACTERISTIC TO SO2 OF SnO2[J].Acta Photonica Sinica,2000,29(3):277-281. |
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| Authors: | Tang
Zhaosheng Zhao Qiang Feng Shimeng Fan Zhengxiu |
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| Institution: | P. O. Box 800-211, Shanghai, 201800, P. R. China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Gas sensor SO2 SnO2 Thin film |
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