| 结构选择优化及过正量膜厚控制在激光析光膜中的应用 |
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| 引用本文： | 童南春,姚细林,胡勇.结构选择优化及过正量膜厚控制在激光析光膜中的应用[J].光学与光电技术,2004,2(5):17-19. |
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| 作者姓名： | 童南春 姚细林 胡勇 |
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| 作者单位： | 华中光电技术研究所,武汉,430073;华中光电技术研究所,武汉,430073;华中光电技术研究所,武汉,430073 |
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| 摘 要： | 分忻了膜系设计中的膜层结构选择性优化方法，阐述了用光电极值法控制非λ／4膜系的膜厚的方法计算出沉积每一层县有极值的波长，然后根据此波长，给出一定的过正量进行膜厚模拟，最后确定每‘层的监控波长。利用这种方法可以提高膜系厚度的控制精度。该义介绍了自主开发膜系设计软件的部分功能，并利用该软件设计并镀制出1060nm的激光析光膜。
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| 关 键 词： | 结构选择性优化设计 极值法 过正控制量 光学监控沉积仿真 |
| 文章编号： | 1672-3392(2004)05-0017-03 |
| 收稿时间： | 2004/2/5 |
| 修稿时间： | 2004年2月5日 |
Application of Selective-Optimizing Design and Variable Overshoot in Laser Beam-Splitter |
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| TONG Nan-chun,YAO Xi-lin,HU Yong.Application of Selective-Optimizing Design and Variable Overshoot in Laser Beam-Splitter[J].optics&optoelectronic technology,2004,2(5):17-19. |
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| Authors: | TONG Nan-chun YAO Xi-lin HU Yong |
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| Abstract: | This paper introduces the method of selective-optimizing design for some coatings, expatiates how to use the turning-point to control the thickness of non-4/l layers, also presents the way to improve the accuracy of optical monitoring, describing some functions of our software. Using the software, we have successfully designed and manufactured 1060nm laser beam-splitting coatings. |
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| Keywords: | selective-optimizing design turning point monitoring overshoot deposition simulation optical monitoring |
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