| 射频感应耦合低压等离子体特性分析 |
| |
| 引用本文： | 高鹏,陈俊芳,冯军勤.射频感应耦合低压等离子体特性分析[J].光散射学报,2013,25(3):297. |
| |
| 作者姓名： | 高鹏 陈俊芳 冯军勤 |
| |
| 作者单位： | 1. 华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术重点实验室,广州,510631
2. 华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术重点实验室,广州510631;华南师范大学实验中心,广州510631 |
| |
| 基金项目： | 广东省自然科学基金，国家自然科学基金 |
| |
| 摘 要： | 采用光谱诊断法和Langmuir单探针法对射频感应耦合Ar气等离子体特性进行分析。通过光栅光谱仪研究了低气压下Ar气等离子体的光谱强度的变化特性,采用Langmuir单探针法测量不同条件下电子密度和电子温度。等离子体发射光谱的光谱强度随着气压和功率的增加而增强,射频功率对光谱强度的影响较明显。当功率从120W增加到180W时,光谱强度将会迅速增加,等离子体发生E模向H模的模式转换。Langmuir单探针法测量的电子密度和电子温度在的变化规律符合E模向H模转换的变化规律。
|
| 关 键 词： | 感应耦合等离子体 发射光谱 Langmuir探针 模式转换 |
| 收稿时间： | 2013/6/25 |
Analysis on Characteristic of Inductively Coupled low-Pressure Plasma |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | inductively coupled plasma optical emission spectroscopy Langmuir probe mode conversion |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
