| X射线驻波方法研究半导体超薄异质外延层 |
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| 引用本文： | 姜晓明,贾全杰,胡天斗,黄宇营,郑文莉,何伟,冼鼎昌,施斌,蒋最敏,王迅.X射线驻波方法研究半导体超薄异质外延层[J].中国物理 C,2001,25(6):588-594. |
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| 作者姓名： | 姜晓明 贾全杰 胡天斗 黄宇营 郑文莉 何伟 冼鼎昌 施斌 蒋最敏 王迅 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院高能物理研究所，北京100039 [2]复旦大学应用表面物理国家重点实验室，上海200433 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金! ( 1 9674 0 58，1 983 4 0 50 )资助&& |
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| 摘 要： | 利用双晶单色器和精密二圆衍射仪,在北京同步辐射装置建立了同步辐射X射线驻波实验技术,并用这一实验技术结合X射线衍射方法,研究了Si晶体中外延生长的超薄Ge原子层的微结构.实验结果表明,由于Ge原子的偏析,在Si晶体样品中形成了共格生长的GexSi1－x合金层,浓度平均值为x≈0.13;650℃退火会使Ge原子向表面扩散,Si晶体中的合金层消失,在晶体表面形成接近纯Ge的单原子层.
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| 关 键 词： | X射线驻波 异质结构 偏析 原子占位 |
| 收稿时间： | 2000-5-26 |
Study of Semiconductor Super Thin Heterostructures with Synchrotron Radiation X-Ray Standing Wave Technique |
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| JIANG Xiao-Ming,JIA Quan-Jie,HU Tian-dou,HUANG Yu-ying,ZHENG Wen-Li,HE Wei,XIAN Ding-chang,SHI Bin,JIANG Zui-Min,WANG Xun.Study of Semiconductor Super Thin Heterostructures with Synchrotron Radiation X-Ray Standing Wave Technique[J].High Energy Physics and Nuclear Physics,2001,25(6):588-594. |
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| Authors: | JIANG Xiao-Ming JIA Quan-Jie HU Tian-dou HUANG Yu-ying ZHENG Wen-Li HE Wei XIAN Ding-chang SHI Bin JIANG Zui-Min WANG Xun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | X ray standing wave heterostructure segregation atomic position |
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