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用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布
引用本文:刘世杰,吴越,盛康龙,李春瑛.用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布[J].中国物理 C,1989,13(6):481-486.
作者姓名:刘世杰  吴越  盛康龙  李春瑛
作者单位:中国科学院高能物理研究所 北京(刘世杰,吴越),中国科学院上海原子核所 上海(盛康龙),华北光电技术研究所 北京(李春瑛)
摘    要:利用2.0—2.5MeV 4He 的弹性反冲探测方法,测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布,并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极限和深度分辨率.

关 键 词:弹性反冲探测  红外探测器    分布
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