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北京同步辐射装置X射线衍射实验站在材料科学研究中的应用
引用本文:王德武,刘建飞.北京同步辐射装置X射线衍射实验站在材料科学研究中的应用[J].中国物理 C,1995,19(5):473-478.
作者姓名:王德武  刘建飞
作者单位:中国科学院高能物理研究所
摘    要:简述了北京同步辐射装置X射线衍射实验站的实验装置,工作性能.利用X射线衍射仪开展了非晶周期多层膜、半导体超晶格结构研究,测量了Si3N4材料残存应力微区分布.

关 键 词:同步辐射  X射线衍射仪  多层膜  超晶格  残存应力

Application of BSRF X-Ray Diffraction Station to Researches in Material Science
Wang Dewu, Liu Jianfei.Application of BSRF X-Ray Diffraction Station to Researches in Material Science[J].High Energy Physics and Nuclear Physics,1995,19(5):473-478.
Authors:Wang Dewu  Liu Jianfei
Abstract:This paper describes experimental apparatus and performance of the X-ray diffraction station at Beijing Synchrotron Radiation Facility (BSKF). Using a SR source of BEPC and the X-ray diffractometer, the study of multilayers and semiconductor superlattice structure, as well as the measurements of residual stress relaxation anddistribution around the ceramic-metal (Si3N4/Steel) interface have been developed.
Keywords:synchrotron radiation  X-ray diffractometer  multilayers  superlattice  residual stress
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